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- 產品描述
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技術特點
●支持軸向進給(In- Feed)磨削原理;
●設備配有在線測量儀單元，精確控制減薄厚度;
●配有具有自主產權的8英寸超精密空氣主軸;
●粗磨和精磨軌跡重合技術，有效提高減薄加工穩定性，保證加工精度;
●設備通過優化研磨和傳輸系統參數，可實現100μm以下精密減薄。
性能指標全自動減薄機
GR-8501
最大加工物尺寸
Φ200mm
主軸
主軸數量
2
輸出功率
5.5KW
轉速
1000-6000rpm
Z軸
行程
120mm
進給速度
0.00001?0.08mm/s
最大返回速度
50mm/s
分辨率
0.1μm
承片臺數量
3
工作臺轉速
0-300rpm
減薄精度
片內厚度偏差
<3μm
片間厚度偏差
<±3μm
表面粗糙度Ra
<0.2μm (2000#Grinding wheel, Si)
測量儀
測量范圍
0-1800pm
分辨率
0.1μm
重復精度
±0.5μm
其他規格
外形尺寸(WxDxH)
1200mmx2760mmx1950mm
設備重量
≈3800 kg
