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業(yè)務(wù)詳情

激光劃片機(jī)GR-410
激光劃片機(jī)GR-410

激光劃片機(jī)GR-410

產(chǎn)品分類:

關(guān)鍵詞:

源頭廠家,自主研發(fā),支持定制,一年質(zhì)保,終身售后

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  • 產(chǎn)品描述
  • 概述
      GR-410系列激光劃片機(jī),配置進(jìn)口激光器,加工效率高,質(zhì)量穩(wěn)定, 設(shè)備簡單易操作;提供傳統(tǒng)矩形GPP晶圓的全切割/半切割劃片方式, 可升級提供六邊形劃切(三角形切割方式)。
    全系列產(chǎn)品分為四款設(shè)備:
      GR-410和GR-410Z兩款設(shè)備支持劃切產(chǎn)品為正面溝槽去除玻璃后的 GPP產(chǎn)品或晶圓背面制作標(biāo)記圖形的產(chǎn)品。正面對準(zhǔn)正面劃切,不支持 底部對準(zhǔn)功能。
      GR-410D和GR-410DZ兩款設(shè)備擁有獨(dú)特的雙光路系統(tǒng),為單面光 刻晶圓提供了背面劃切方案與背面打標(biāo)方案。正面對準(zhǔn)正面/背面劃切, 支持底部對準(zhǔn)功能。


    性能指標(biāo)

    劃切參數(shù)

    劃切對象

    4寸至6寸GPP晶圓和硅晶圓

    劃切方式

    等距矩形切割,支持三角形切割(手動對準(zhǔn))

    激光參數(shù)

    光纖激光器,最大功率20W

    劃切速度

    W250mm/s

    切割精度

    ±0.003mm

    切割線寬

    0.035-0.055mm

    切割深度

    <0.12mm

    工作臺參數(shù)

    工作范圍

    220mm*200mm

    工作臺分辨率

    0.0005mm

    旋轉(zhuǎn)電機(jī)行程

    360° 185°

    旋轉(zhuǎn)電機(jī)定位精度

    30”

    Z向定位精度

    0.01mm

    Z向激光調(diào)焦行程

    20mm

    其他

    自動對位范圍

    35mil-305mil

    自動對位精度

    0.01mm

    外形尺寸 (WxDxH) mm

    GR-410/GR-410D

    760x1165x1650

    GR-410Z/GR-410DZ

    940x1165x1650

    設(shè)備重重kg

    GR-410/GR-410D

    750

    GR-410Z/GR-410DZ

    800


    產(chǎn)品特色
    ●底部對準(zhǔn)
    ●背面打標(biāo)
    ●自動上下料
    ●自動對位

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